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瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

簡(jiǎn)要描述:瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
滿足超高真空要求

瀏覽次數(shù):2864

  • 廠家實(shí)力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細(xì)介紹

瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

適用于最小氣流的高精度計(jì)量59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥可以精確控制極小的氣流(1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1)。該系列閥門采用全金屬設(shè)計(jì),是滿足超高真空和超高真空工藝中氣體計(jì)量要求的理想選擇。

59.0 系列的特殊控制功能確保可重復(fù)的精確氣流設(shè)置,增強(qiáng)了過程控制能力。其還能在整個(gè)使用壽命內(nèi)提供可靠的密封關(guān)閉,不會(huì)出現(xiàn)任何密封疲勞風(fēng)險(xiǎn)。

此外,59.0 系列采用全金屬設(shè)計(jì)(高級(jí)不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘封),因此具有出色的抗腐蝕性和抗腐蝕性氣體特性。

59.0 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其可靠性。其已成為超高真空和真空應(yīng)用中可變泄漏閥的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥提供 DN為16 mm (5/8") 的角閥或內(nèi)聯(lián)閥,帶手動(dòng)驅(qū)動(dòng)器,或帶配有步進(jìn)電機(jī)的集成式或可拆卸壓力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根據(jù)烘烤過程中的情況,可以在烘烤過程中取下驅(qū)動(dòng)器。標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 CF-R,固定到位。

隔膜采用“硬對(duì)硬"密封技術(shù),閥門在整個(gè)使用壽命內(nèi)可進(jìn)行 40 萬(wàn)次控制循環(huán)和 1 萬(wàn)次密封關(guān)閉循環(huán),無(wú)需任何維護(hù),其可作為零部件使用,并且易于更換。

瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥主要特點(diǎn)


特點(diǎn):

  • 適用于最小氣流的高精度氣體計(jì)量

  • 精確可重復(fù)的氣流設(shè)置

  • 可靠的持續(xù)密封

  • 耐腐蝕和腐蝕性氣體


優(yōu)勢(shì):

  • 在極小氣流下可實(shí)現(xiàn)最佳壓力控制

  • 工藝可控性增強(qiáng)

  • 正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)

  • 瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

技術(shù)數(shù)據(jù)
尺寸

DN 16 (?")
驅(qū)動(dòng)器
手動(dòng)
方向盤
 
帶步進(jìn)電機(jī)的集成式或可拆卸壓力控制器
閥體材料

不銹鋼
標(biāo)準(zhǔn)法蘭

CF-R
密封技術(shù)

隔膜
泄漏率
閥體
< 1 × 10-10 mbar ls-1
 
閥座
< 1 × 10-10 mbar ls-1
壓力范圍

超高真空至 2bar(絕對(duì)壓強(qiáng))
壓差打開時(shí)≤ 10 bar
死區(qū)
角閥:
閥座側(cè)
側(cè)端口
2.7 cm3
1.1 cm3
 
內(nèi)聯(lián)閥:
閥座側(cè)
側(cè)端口
0.98 cm3
1.01 cm3
首維護(hù)前開關(guān)次數(shù)

20 000
烘烤溫度
閥體
≤ 300 °C
 
手動(dòng)驅(qū)動(dòng)器
≤ 300 °C 
 
帶步進(jìn)電機(jī)的控制器
≤ 50 °C 
加熱和冷卻速率

≤ 60 °C h-1
材料
閥體
AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404)
 
隔膜
AISI 301 (1.4310), 鍍金
安裝位置

任何位置
閥門位置指示

視覺(比例)
流導(dǎo)(分子流)

0.05 ls-1
可調(diào)節(jié)氣流

1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1
重量
帶手動(dòng)驅(qū)動(dòng)器
0.94 kg / 2.07 lbs
 
帶受控步進(jìn)電機(jī)
2.5 kg / 5.5 lbs


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