步進電機主要根據相數來進行分類，其中二相和五相步進電機是目前市場上廣泛采用的。二相步進電機每轉最大可細分為400等分，而五相步進電機則可以細分為1000等分。因此，五相步進電機在控制精度、加減速時間、動態慣性等方面的表現較佳。
五相步進電機具有更高的細分能力，可以提供更高的精度和更快的加減速時間。此外，由于五相步進電機的相數較多，其力矩波動也較小，動態慣性較低，能夠實現更平滑的運動。這些優點使得五相步進電機在需要高精度控制和高性能的應用中具有更大的優勢。
兩相混合式步進電機的步距角一般為3.6度和1.8度，而五相混合式步進電機的步距角一般為0.72度和0.36度。這些步距角指的是電機每轉一圈所需的脈沖數。步距角越小，電機的控制精度就越高。
交流伺服電機的控制精度由旋轉編碼器保證。以松下全數字式交流伺服電機為例，其脈沖當量取決于編碼器的類型和內部處理技術。對于帶標準2500線編碼器的電機，脈沖當量為0.036度;而對于帶17bit編碼器的電機，脈沖當量則更小，為0.002746度/脈沖。這些數據反映了交流伺服電機在控制精度和性能方面的高效性。
步進電機在低速時容易出現低頻振動現象，這是由于其工作原理所導致的。這種振動現象會對其正常運轉產生不利影響。為了克服這種低頻振動現象，通常會采用阻尼技術。在電機上添加阻尼器是一種常見的方法，通過阻尼器的減震作用來降低電機的振動。另外，驅動器上也可以采用細分技術，通過更精細的控制脈沖來平衡電機的振動。
相比之下，交流伺服電機在運轉時非常平穩，即使在低速時也不會出現振動現象。這得益于交流伺服系統所具有的共振抑制功能，該功能可以涵蓋機械的剛性不足，并且系統內部具有頻率解析機能(FFT)，可以檢測出機械的共振點，便于系統進行調整和優化。
